雙電測四探針測試儀 庫存 庫號：M407314 雙電測四探針測試儀 庫存 庫號：M407314
技 術(shù) 指 標 ： 測量范圍 電阻率：10 -5 ～10 5 ?.cm( 可擴展) ； 方塊電阻：10 -4 ～10 6 ?/ □ ( 可擴展) ； 電導(dǎo)率：10 -5 ～10 5 s/cm ； 電阻：10 -5 ～10 5 ? ； 可測晶片厚度 ≤3mm 可測晶片直徑 140mmX150mm(配 配 S-2A 型測試臺) ； 200mmX200mm(配 配 S-2B 型測試臺) ； 400mmX500mm(配 配 S-2C 型測試臺) ； 恒流源 電流量程分為 1µA 、10µA 、100µA 、1mA 、10mA 、100mA 六檔，各檔電流 連續(xù)可調(diào) 數(shù)字電壓表 量程及表示形式 000.00 ～199.99 mV ；分辨力：10µV ；輸入阻抗＞1000M? ； 精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、量程自動顯示； 四探針探頭基本指標 間距：1±0.01mm ；針間絕緣電阻：≥1000M? ； 機械游移率：≤0.3 ％； 探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm ；探針壓力：5 ～16 牛頓( 總力) ； 模擬電阻測量相對誤差 ( 按 按 JJG508-87 進行) 0.01? 、0.1? 、1? 、10? 、100? 、1000? 、10000? ≤0.3 ％±1 字差 整機測量大相對誤差 ( 用硅標樣片:0.01-180?.cm 測試) ≤±4 ％整機測量標準不確定度 ≤4 ％ 測試標準 采用雙電測測試標準，通過 RTS-9 雙電測測試軟件控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計算出電阻值。儀器主機也可兼容 RTS-8 四探針測試軟件實現(xiàn)單電測測試標準，兩套軟件可同時使用。 軟件功能 軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動適合電流量程檔測試。通訊接口 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)。 標準使用環(huán)境 溫度：23±2 ℃； 相對濕度：≤65 ％； 無高頻干擾； 無強光直射；
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