小型離子濺射儀型號(hào)SBC-12庫(kù)存M121692小型離子濺射儀型號(hào)SBC-12庫(kù)存M121692 主要性能指標(biāo)： 玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm 試樣臺(tái)尺寸：Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯 金靶尺寸：Φ58mm 真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L／S 真空檢測(cè)：皮氏計(jì) 真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空 工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié) 主要性能指標(biāo)： 玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm 試樣臺(tái)尺寸：Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯 金靶尺寸：Φ58mm 真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L／S 真空檢測(cè)：皮氏計(jì) 真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空 工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié) 主要性能指標(biāo)： 玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm 試樣臺(tái)尺寸：Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯 金靶尺寸：Φ58mm 真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L／S 真空檢測(cè)：皮氏計(jì) 真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空 工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié) 主要性能指標(biāo)： 玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm 試樣臺(tái)尺寸：Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯 金靶尺寸：Φ58mm 真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L／S 真空檢測(cè)：皮氏計(jì) 真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空 工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié) 主要性能指標(biāo)： 玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm 試樣臺(tái)尺寸：Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯 金靶尺寸：Φ58mm 真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L／S 真空檢測(cè)：皮氏計(jì) 真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空 工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié) |
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