光電導少數(shù)載流子壽命測試儀 庫存 D397453
光電導少數(shù)載流子壽命測試儀 庫存 D397453 高頻光電導少數(shù)載流子壽命測試儀 型號:S810-LT-1B庫號:D397453
高頻光電導少數(shù)載流子壽命測試儀是參照半導體設(shè)備和材料組織SEMI標準(F28-75)及標準GB/T1553-1997設(shè)計制造。本設(shè)備采用高頻光電導衰減測量方法,適用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測量,硅單晶壽命測量ρ≥3Ω·cm,由于對樣塊體形無嚴格要求,因此應用于工廠的常規(guī)測量。壽命測量可靈敏地反映單晶體重金屬污染及缺陷存在的情況,是單晶質(zhì)量的重要檢測項目。 參數(shù) (1)電阻率測量范圍ρ≥3Ω·cm,壽命測試范圍:5~10000μs (2)光脈沖發(fā)生裝置 重復頻率>25次/s 脈寬≥60μs 光脈沖關(guān)斷時間<1μs 紅外光源波長:1.06μm(測量硅單晶),如測量鍺單晶壽命需另行配置適當波長的光源。 脈沖電源:~12A (3)高頻源 頻率:30MHz 低輸出阻抗 輸出功率>1W (4) 放大器和檢波器 頻率響應:2Hz~3MHz 壽命測試范圍:5~10000μs 按測量標準對儀器設(shè)備的要求,本儀器設(shè)備配有: (5)讀數(shù)方式:可選配載流子壽命測試軟件系統(tǒng)或數(shù)字示波器讀數(shù),軟件系統(tǒng)測試操作簡單,點擊“測量"即可,自動保存數(shù)據(jù)及相應測試點衰減波形到數(shù)據(jù)庫,可進行查詢歷史數(shù)據(jù)和導出歷史數(shù)據(jù)等操作。
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