表面處理機(jī) 庫(kù)存號(hào)：D208809 表面處理機(jī) 庫(kù)存號(hào)：D208809 表面處理機(jī)/可以濺射可以蒸碳 型號(hào):KM1-SBC-2庫(kù)號(hào)：D208809
多功能試樣表面處理機(jī)是為掃描電鏡和電子探針等進(jìn)行試樣制備的設(shè)備，可進(jìn)行真空蒸碳、真空鍍膜和離子濺射，它也可以在高純氬氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理。用本設(shè)備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進(jìn)行成分分析，尤其是成分的定量分析為適宜。本儀器裝有機(jī)械泵、分子泵，分子泵系統(tǒng)特別適用于對(duì)真空要求高、真空環(huán)境好的用戶選用。 ※ 主要用途：真空鍍膜，離子濺射，真空蒸碳等。 ※ 主要特點(diǎn)：抽速快，操作簡(jiǎn)便，真空度高，。 規(guī) 格 一、試樣處理室 （1）鐘罩：內(nèi)徑250mm×高度340mm （2）玻璃處理室： 玻璃罩 A:內(nèi)徑88mm×高度140mm 玻璃罩 B:內(nèi)徑88mm×高度57mm （3）試樣臺(tái)：直徑40mm（大） （4）試樣旋轉(zhuǎn)：電動(dòng) （5）擋板：電動(dòng) （6）蒸發(fā)加熱器：可同時(shí)安裝兩個(gè)加熱器 二、真空系統(tǒng) （1）抽氣系統(tǒng)：由分子泵、機(jī)械泵組成的高真空機(jī)組 （2）真空檢測(cè)：金屬電阻規(guī)、冷規(guī) （3）常用真空度：1.3×10-2~ 6×10- 3 Pa （4）操作：手動(dòng) 三、處理電源： （1）高壓電源：DC 2000V 10mA連續(xù)可變，用表指示。 （2）低壓電源：AC 10V 60A連續(xù)可變，電流用表指示。 四、體積重量： （1）體積：L800mm×W560mm×H1340mm （2）重量：約150公斤 五、電源要求：AC 220V 50Hz 10A 六、氣體要求：氬氣--純度99.9%(對(duì)樣品有特殊要求時(shí)可使用) 七、冷卻要求： 本系統(tǒng)采用F100/110F普通軸承風(fēng)冷渦輪分子泵，其冷卻方式為風(fēng)扇強(qiáng)制風(fēng)冷、通水冷卻兩種，當(dāng)工作環(huán)境溫度低于攝氏32度時(shí)，可采用風(fēng)冷冷卻，當(dāng)工作環(huán)境溫度高于攝氏32度時(shí)，則采用水冷。目前本系統(tǒng)標(biāo)配為風(fēng)扇風(fēng)冷形式。
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