熱式質量流量計 庫存 庫號：M400064 熱式質量流量計 庫存 庫號：M400064
CS200A質量流量控制器&流量計 CS200A氣體質量流量控制器，采用傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數(shù)可以保證產品適應不同的環(huán)境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面加岀色。全量程范圍內，CS200C產品快可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產生的系統(tǒng)誤差小化，所需流量加。 • 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。 • CS200產品嚴格按照SEMI標準制造，尺寸符合通用的SEMI標準。 • CS200系列產品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。 • 產品支持RS485，DeviceNet通訊方式。 • 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。 CS200A，甲烷，2SLM，8mm卡套，RS485通訊，大工作壓力0.45MPa,壓差0.05-0.35MPa 技術參數(shù) 類型： CS200-A 閥類型：常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)或常閉 流量規(guī)格(N2)：(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM 準確度：±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) 線性：±0.5% F.S. 重復精度：±0.2% F.S. 響應時間：≤ 1sec 工作壓差范圍： 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM，＜0.02 MPa 大工作壓力：0.45MPa 溫度系數(shù)：零點： ≤±0.05% F.S./℃； 調節(jié)時： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規(guī)格≤30SLM 調節(jié)時： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規(guī)格＞30SLM 耐壓強度：3MPa 漏率：1×10-10 Pa·m3 / sec He 密封材料：氟橡膠 工作環(huán)境溫度：（5～45）℃ 輸入信號：數(shù)字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA 輸出信號：數(shù)字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA 零漂：在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 電源：±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極) 表面化學成分：常態(tài) 表面粗糙度：25 Ra 標準接頭形式： 雙卡套 φ6；雙卡套 1/4′′；雙卡套 3/8′′；VCR1/4′′陽接頭；雙卡套φ3； 雙卡套 1/8′′；VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭； φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭; 電源接頭形式：D 型 9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭 重量：1 Kg
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