硅片表面線痕測試儀 硅片表面線痕測試儀
對硅片表面的線痕進行輕松測量。該設(shè)備帶控制器的高精度，高性能，操作簡單，顯示一目了然。
特點
■顯示一目了然，操作簡單： 配備高可見度7.5 英寸TFT LCD 屏幕。彩色圖標(biāo)顯示、觸控式面板，顯示更清晰，操作簡單。
■輕松定位： 使用控制器內(nèi)置的操縱桿，輕松、快速地定位。小孔內(nèi)側(cè)的測量，需要對微小測頭進行微調(diào)。利用手動手柄，實現(xiàn)輕松微調(diào)。
■輕松設(shè)置表測量條件： 利用配備的簡單輸入功能，可按照ISO/JIS 標(biāo)準(zhǔn)的繪圖指令符號進行輸入。以往非常麻煩的測量條件設(shè)置如今可輕松輸入，從菜單上直接選取表面線痕的繪圖指令符號即可。
參數(shù)
參數(shù): SJ-500
X 軸 (驅(qū)動部)
測量范圍: 50mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 線性編碼器
驅(qū)動速度: 0 - 20mm/s
測量速度: 0.02 - 5mm/s
移動方向: 向后
直線度: 0.2μm / 50mm
定位: ±1.5° (傾角、有DAT 功能) 30mm (向上／向下)
檢測器
范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
檢測方法: 無軌／有軌測量
測力: 4mN 或 0.75mN (低測力型)
測針針尖: 金剛石、90o / 5μmR (60o / 2μmR: 低測力型)
導(dǎo)頭曲率半徑: 40mm
檢測方法: 差動電感式
控制器
顯示: 7.5" 帶背光的TFT 彩顯
: 內(nèi)置熱敏
放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自動 垂直: X0.5 至 X10,000、自動 驅(qū)動裝置的控制: 通過操縱桿手動手柄的操作
參數(shù): SV-2100
X 軸 (驅(qū)動部)
測量范圍: 100mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 線性編碼器
驅(qū)動速度: 0 - 40mm/s
測量速度: 0.02 - 5mm/s
移動方向: 向后
直線度: 0.15μm / 100mm Z2 軸 ( 立柱)
類型: 手動操作或電驅(qū)動
垂直移動: 350mm 或 550mm*
分辨率*: 1μm
檢測方法*: 旋轉(zhuǎn)編碼器
驅(qū)動速度*: 0 - 20mm/s * 僅適于電驅(qū)動型
檢測器
范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
檢測方法: 無軌／有軌測量
測力: 4mN 或 0.75mN (低測力型)
測針針尖: 金剛石、90o / 5μmR (60o / 2μmR: 低測力型)
導(dǎo)頭曲率半徑: 40mm
檢測方法: 差動電感式
控制器
顯示: 7.5" 帶背光的TFT 彩顯
: 內(nèi)置熱敏
放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自動 垂直: X0.5 至 X10,000、自動
驅(qū)動裝置的控制: 通過操縱桿手動手柄的操作
評估能力
評估輪廓
P (主輪廓), R (表面輪廓), WC, WCA, WE, WEA, 包絡(luò) 殘余線、波形 motif
評估參數(shù)
Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax, Rp, Rv, R3z, Sm, S, Pc, mr(c), dc, mr,
tp, Htp, Lo, Ir, Ppi, HSC, Da, Dq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2,
A1, A2, Vo, la, lq 線痕motif 參數(shù): R, AR, Rx 波形motif 參數(shù): W, AW, , Wte
分析圖表
ADC, BAC, 功率譜圖
數(shù)顯濾波器
2CR-75%, PC-75%、高斯濾波器、魯棒樣條
截止波長
ls: 0.25μm, 0.8μm, 2.5μm, 8μm, 25μm, 250μm、無濾波器
lc*: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
lf: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm、無濾波器采樣長度 (L)*
0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm, 80mm (僅適于SV-2100)
數(shù)據(jù)補償功能
拋物線補償、雙曲線補償、橢圓補償、R 平面 (曲面)
補償、錐面補償、傾斜補償
*在 0.02mm 至50mm 的范圍內(nèi)可任意長度。
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