真空度測試儀型號:YH35-RZKY-2000 真空度測試儀型號:YH35-RZKY-2000 真空度測試儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設(shè)備。它以單片為主控單元,測試過程*實現(xiàn)自動化。該儀器在原理上改變了國內(nèi)外同類產(chǎn)品采用電流峰值做標(biāo)定的方法,而采用離子電荷來做標(biāo)定。這樣,在物理原理上有更好的準(zhǔn)確性,而且,有效地抑制了測試過程中脈沖電源的干擾,使測試穩(wěn)定可靠。 該儀器采用兩次采樣的方法扣除由于環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流,并且在測量過程中考慮了*漏氣的真空滅弧室的判別,真正做到了對安裝于整機(jī)上的真空滅弧室的準(zhǔn)確計量。目前,該儀器中已存有26條真空滅弧室的測量標(biāo)準(zhǔn)曲線,涵蓋了國內(nèi)外絕大多數(shù)管型。
1、基于電離電荷的采樣 ZKY2000型真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣。我廠在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此,我廠*了基于電離電荷的采樣,顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準(zhǔn)確性。 2、漏電電流的處理 對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時,會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性,并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。
參數(shù) 1、測量范圍:1*10-5~1*10-1pa 2、測量誤差:l*l0-4~1*l0-1pa中誤差<5% 3、測量分辨率:10-5pa 4、允許環(huán)溫:O℃~55℃ 5、空氣濕度:<85%RH 6、電 源:AC220士10% 7、外型尺寸:430X300X235mm |